S02700 - SEMI S27 - 針對環境、安全與衛生(ESH)評估報告內容之安全指導方針 StdPbc-0211 本文書の目的は，サーマル・マスフローコントローラの電磁感受性の評価および試験のための体系的方法を定めることである。

本文書の目的は，サーマル・マスフローコントローラの電磁感受性の評価および試験のための体系的方法を定めることである。

2  Both organizations producing depositions internally for in-house use and companies manufacturing depositions for sale can apply this Test Method to ensure that their particle deposition systems provide depositions that meet the requirements of SEMI M52

静電気による装置動作上の問題と製品欠陥の増加は，半導体製造装置の所有コスト（COO： cost of ownership）へのマイナス要因となる（SEMI E35を参照のこと）。

SEMI E77-0998 (first published)

SEMI E94-0713 (technical revision)

S02700 - SEMI S27 - 針對環境、安全與衛生(ESH)評估報告內容之安全指導方針 StdPbc-0211 本文書の目的は，サーマル・マスフローコントローラの電磁感受性の評価および試験のための体系的方法を定めることである。(Environmental Health & Safety Technical Committee)2009121620102www. semi. org SEMI(ME) SEMI Referenced SEMI Standards SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S7 Safety Guideline for Evaluation Personnel and Evaluating Company Qualifications SEMI S8 Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconduct