E06700 - SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法 StdPbc-0716

E06700 - SEMI E67 - マスフローコントローラの信頼性測定のためのテスト方法 StdPbc-0716global Gases Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org1997920043 : 2011 MFC mass flow controllerMFC Referenced SEMI Standards SEMI E17 Guideline for Mass Flow Controller Transient Characteristics Tests SEMI E66 Test Method for Determining Particle Contribution by Mass Flow Controllers SEMI E69 Test Method for Determining Reproducibility and Zero Drift for Thermal Mass Flow

orgで入手可能となる。初版は1984年発行。前版は1989年発行。

SEMI MF673 — Test Method for Measuring Resistivity of Semiconductor Wafers or Sheet Resistance of Semiconductor Films with a Noncontact Eddy Current Gauge

SEMI G52-90 (Reapproved 1104)

orgで入手可能となる。初版は2004年3月発行，前版は2008年11月に発行された。

本仕様は，450 FOUPストッカーのロードポートに対する寸法上の要求事項を定義する。本書の目的は，さまざまなタイプの搬送装置およびストッカーの間の物理的インタフェースを定義する必須の形状と寸法を提供し，工場内での材料取り扱い上のさまざまな要求事項に適合するためにさまざまな自動搬送システムを簡単に使用できるようにすることである。これは，ストッカーと搬送システムの両方が適合しなければならないインタフェースの4つのオプションを定義することで実現する。定義されているオプションは以下のとおりである。

SEMI E115-0302E (Reapproved 0309)

These terms apply to photomasks that are principally used in fabricating flat panel display

the values stated in inch-pound units are for information only

several other aspects of risk assessment (e

Auto Transport Usage covers the 125 mm wafer size

Although interstitial oxygen concentration is an important factor in affecting the amount of oxygen precipitation that occurs in silicon during a specific thermal cycle

and behavior are specified in these documents to promote further device interoperability as features evolve and are adopted by more manufacturers