F05600 - SEMI F56 - マスフローコントローラの定常供給電圧の影響を測定するための試験方法 StdPbc-0225 Alternative methods or conditions may

Alternative methods or conditions may be used as long as appropriate studies demonstrate recovery between 75%–125% of a known sample spike for half the specification value

was conducted

previously published June 2011

このスタンダードは，SEMI E10およびSEMI E79の測定基準に必要な正確な装置情報をオペレータやホストの入力に依存せずに提供し，ユーザによる不正な入力やタイムリーではない入力に起因する不正確さをなくす，SEMI E10およびSEMI E79のための基礎的要素である。EPTは，装置性能トラッキングのモジュラアプローチを提供することによってSEMI E10およびSEMI E79の両方を支援し，装置の主要モジュールの状態によって装置の状態を決定できる。EPTは，装置やモジュールの現在の動作についてタスクレベルの詳細情報を提供することによってSEMI E79を支援し，性能測定基準をタスクレベルでトラッキングできる。

North America

F05600 - SEMI F56 - マスフローコントローラの定常供給電圧の影響を測定するための試験方法 StdPbc-0225 Alternative methods or conditions mayglobal Gases Technical Committee20111224global Audits and Reviews Subcommittee20124www. semiviews. org www. semi. org2000320073 : MFCMFCMFC DCMFCDC Referenced SEMI Standards None.